SID4-UV

光谱 紫外(190 - 400 nm)

Phasics SID4-UV wavefront sensor

作为最低可至波长250 nm的高分辨率波前传感器,SID4-UV非常适合于紫外光学测量,包括用于光刻或半导体应用紫外激光表征,以及透镜和晶圆的表面面型检测。

主要特点

  • 250 x 250超高相位取样分辨率
  • 2 nm RMS高相位灵敏度
  • 紫外波段波前测量的通用解决方案

产品应用

激光,自适应光学及等离子体检测 光学元件及光学系统计量

产品规格

波长范围 250 - 400 nm
靶面尺寸 7.4 x 7.4 mm²
空间分辨率 29.6 µm
取样分辨率 250 x 250
相位分辨率 2 nm RMS
绝对精度 10 nm RMS
取样速度 30 fps
实时处理速度* > 2 fps (全分辨率下)*
接口种类 以太网口
尺寸(宽x高x长) 78 x 88.1 x 71.1 mm³
重量 约575g

*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下

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