SID4-UV-HR

光谱 紫外(190 - 400 nm)

Phasics SID4-UV HR波前传感器

基于Phasics的独家专利技术,SID4 UV-HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355x280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV-HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。

主要特点

  • 最低至190nm波长感光灵敏
  • 1  nm RMS高相位灵敏度
  • 355 x 280超高相位取样分辨率

产品应用

激光,自适应光学及等离子体检测 光学元件及光学系统计量

产品规格

波长范围 190 - 400 nm
靶面尺寸 13.8 x 10.88 mm²
空间分辨率 38.88 µm
取样分辨率 355 x 280
相位分辨率 1 nm RMS
绝对精度 10 nm RMS
取样速度 30 fps
实时处理速度* > 3 fps (全分辨率下)*
接口种类 CameraLink
尺寸(宽x高x长) 51 x 51.1 x 76 mm³
重量 约300g

*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下

相关产品

下载


订阅Phasics资讯获取最新信息