基于Phasics的独家专利技术,SID4 UV-HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率(355x280取样分辨率)和极高的相位灵敏度(优于1 nm RMS)。 因此,SID4 UV-HR非常适合用于光刻,半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测(透镜和晶圆等)。
波长范围 | 190 - 400 nm |
靶面尺寸 | 13.8 x 10.88 mm² |
空间分辨率 | 38.88 µm |
取样分辨率 | 355 x 280 |
相位分辨率 | 1 nm RMS |
绝对精度 | 10 nm RMS |
取样速度 | 30 fps |
实时处理速度* | > 3 fps (全分辨率下)* |
接口种类 | CameraLink |
尺寸(宽x高x长) | 51 x 51.1 x 76 mm³ |
重量 | 约300g |
*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下