Kaleo MultiWAVE

光谱 紫外(190 - 400 nm) 可见光 - 近红外 (400 - 1100 nm) 短波红外 (900 - 1700 nm)

Phasics Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪

Phasics在光学计量领域持续创新,推出能够兼顾测量透射波前误差和反射波前误差(TWE / RWE)的革命性新产品:Kaleo MultiWAVE动态干涉仪。 直径最高至5.1英寸(130毫米)的镀膜和未镀膜的光学器件可在其工作波长下直接进行测量。 Kaleo MultiWAVE是购买多台干涉仪或特殊波长干涉仪的有效替代方案,拥有极高性价比。 该系统同时可提供媲美Fizeau干涉仪测量精度,及动态干涉仪的优秀抗震性能。

主要特点

  • 紫外、可见光、近红外、短波红外、中远红外等任意多波长定制
  • 单台干涉仪可集成多个工作波长
  • 纳米级相位分辨率
  • 超高动态范围 (>500 条纹数)

应用

光学元件及光学系统计量

产品规格

系统指标

光学系统结构 双通路
测量能力 反射波前面型测量,或透明光学元件双透射测量
单台集成工作波长数量 标准1或2工作波长,最高可定制8工作波长
定制波长 193nm至14µm范围内任意波长,包含紫外波段266 nm、355nm、405nm,可见光及近红外波段550nm、625nm、780nm、940nm、1050nm,短波红外/中红外/远红外 1.55µm、2µm、3.39µm、10.6µm等
有效口径 5.1英寸(130mm)
光学中心高度 108mm
对准系统 实时相位及泽尼克系数显示
系统偏振 兼容消偏光学器件
视场角对准范围 +/- 2°
可调对焦范围 +/- 2.5 m
尺寸重量 910 x 600 x 260 mm³, 约25 kg
抗震性 无需隔震

性能指标 (1)

RMS重复性 (2) < 0.7 nm (< λ / 900)
测量精度 80 nm PV (3)
动态范围(离焦值) 500 fringes (SFE = 150 μm)
可测反射率范围 4% - 100%

(1) 四英寸口径,使用625 nm光源
(2) 在4英寸参考镜上执行36次连续测量,每一次测量使用均化值为16次。 参考定义为所有奇数测量的平均值。 RMS重复性定义为RMS平均差值,加上偶数测量值与参考之间差值的标准偏差的2倍。
(3) 1 µm PV 离焦像差下

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