SID4 UV HR

Spectral Range 紫外(190 - 400 nm)

基于Phasics的独家专利技术，SID4 UV HR波前传感器可在190 nm至400 nm的紫外波段提供无与伦比的高相位分辨率（512x 512取样分辨率）和极高的相位灵敏度（优于2 nm RMS）。因此，SID4 UV HR非常适合用于光刻，半导体等领域的光学组件表征和表面面型检测（透镜和晶圆等）。

Phasics SID4 UV HR波前传感器

最低至190nm波长感光灵敏
2 nm RMS高相位灵敏度
512x 512超高相位取样分辨率

产品应用

Specifications

SID4-UV-HR

波长范围	190 - 400 nm
靶面尺寸	13.3 x 13.3 mm²
空间分辨率	26 µm
取样分辨率	512 x 512
相位分辨率	2 nm RMS
绝对精度	20 nm RMS
取样速度	10 Hz
实时处理速度*	3 fps (全分辨率下)*
接口种类	GigE
尺寸（宽x高x长）	80.3 x 78.6 x 108.2 mm³
重量	约600g

*使用官方配置电脑搭载PhaseStudio软件环境下

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