SID4 UHR超高分辨率波前传感器可用于光学计量需求。 它结合了SID4的易于光路搭建的特点,并拥有超高分辨率及相位精度。 它的大口径传感器靶面可以实现对整个被测样品的实时波前测量。 SID4 UHR的产品特性使其非常适用于表面面型的检查(表面粗糙度、高频率波前像差及表面缺陷检测等)和光学组件的表征(镜头、物镜、非球面和自由曲面光学等)。 SID4-UHR搭载高性能相机,也可提供无与伦比的激光表征精度。 高达554 x 554 相位取样分辨率使SID4 UHR成为研究和工业领域中用于光学和激光计量的高性能工具。
波长范围 | 400 - 1100 nm |
靶面尺寸 | 15.16 x 15.16 mm² |
空间分辨率 | 29.6 µm |
取样分辨率 | 512 x 512 |
相位分辨率 | <2 nm RMS |
绝对精度 | 15 nm RMS |
采集速率 | 8 fps |
实时处理速度* | 1 fps (全分辨率下) |
接口种类 | 以太网口 |
尺寸(宽x高x长) | 60 x 60 x 70 mm³ |
重量 | 约450g |
*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下