SID4 UHR

光谱 可见光 - 近红外 (400 - 1100 nm)

Phasics SID4 UHR波前传感器

SID4 UHR超高分辨率波前传感器可用于光学计量需求。 它结合了SID4的易于光路搭建的特点,并拥有超高分辨率及相位精度。 它的大口径传感器靶面可以实现对整个被测样品的实时波前测量。 SID4 UHR的产品特性使其非常适用于表面面型的检查(表面粗糙度、高频率波前像差及表面缺陷检测等)和光学组件的表征(镜头、物镜、非球面和自由曲面光学等)。 SID4-UHR搭载高性能相机,也可提供无与伦比的激光表征精度。 高达512 x 512(可选最高至666 x 666)相位取样分辨率使SID4 UHR成为研究和工业领域中用于光学和激光计量的高性能工具。

主要特点

  • 超高分辨率
  • 超大靶面分析尺寸: 15.16 x 15.16 mm²
  • 自消色差

产品应用

激光,自适应光学及等离子体检测 光学元件及光学系统计量微观材料检测

产品规格

波长范围 400 - 1100 nm
靶面尺寸 15.16 x 15.16 mm²
空间分辨率 29.6 µm (扩展选项:22.2 µm)
取样分辨率 512 x 512 (扩展选项:666 x 666)
相位分辨率 <2 nm RMS
绝对精度 15 nm RMS
采集速率 8 fps
实时处理速度* 1 fps (全分辨率下)
接口种类 以太网口
尺寸(宽x高x长) 60 x 60 x 70 mm³
重量 约450g

*使用官方配置电脑搭载SID4软件环境下

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