SID4 XHR超大靶面高分辨率波前传感器面向先进光学系统中的大尺寸元件、大视场组件及扩束光束计量需求而设计。凭借大有效测量孔径与1400 × 1000高密度相位图采样,SID4 XHR可实现实时全场波前采集,为复杂波前结构、高空间频率误差及大口径光学组件提供更精细的相位信息。凭借大靶面覆盖、高密度采样、紧凑集成与实时测量能力,SID4 XHR为研发、制造及系统验证场景提供高性能波前计量解决方案。
| 波长范围 | 400 - 1100 nm |
| 靶面尺寸 | 38.64 x 27.60mm² |
| 取样分辨率 | 1400 x 1000 |
| 空间分辨率 | 27.6 μm |
| 相位分辨率 | 6 nm RMS |
| 尺寸(宽x高x长) | 114 x 105 x 110 mm |
| 重量 | ~1kg |